下照式微聚焦多准型,搭载*EFP算法软件和微光聚集技术,配合切换准直器在检测各微小及凹凸面样品时检出限更低,仪器寿命更长,性能更稳定。
XTU-4C是一款专业性能型镀层测厚仪/膜厚测试仪/光谱测厚仪,下照式微聚焦多准型设计,搭载*EFP算法软件和微光聚集技术,配合切换准直器在检测各微小及凹凸面样品时检出限更低,仪器寿命更长,性能更稳定。
微聚焦加强型X射线装置:可测试各类极微小的样品,即使检测面积为0.003mm²的样品也可轻松、精准检测
变焦装置及位置补偿算法:可对各种异性凹槽进行检测,凹槽深度测量范围可达0-30mm
自主研发EFP算法:多层多元素、各种元素及有机物,甚至有同种元素在不同层也可精准测量
微米级移动精度:高精密XY移动滑轨,实现多点位、多样品的精准位移和同时检测,移动精度可达5um,轻松应对极微小样品检测
*解谱技术:减少能量相近元素的干扰,降低检出限
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