全新上照式设计,搭载全自动移动平台和影像识别功能,既能检测纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚,也可满足微区RoHS检测及全元素成分分析。
1)搭载微聚焦加强型X射线发生器和*光路转换聚焦系统,最小测量面积达0.03mm²
2)拥有无损变焦检测技术,手动变焦功能,可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-90mm
3)核心EFP算法,可对多层多元素,包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析(钕铁硼磁铁上Ni/Cu/Ni/FeNdB,精准检测第一层Ni和第三层Ni的厚度)
4)配备全自动可编程移动平台,可实现无人值守,对成百上千个样品进行全自动检测
5)涂镀层分析范围:锂Li(3)- 铀U(92)
6)成分分析范围:铝Al(13)- 铀U(92)
7)RoHS、卤素有害元素检测
8)人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作
9)标配四准直器自动切换
10)配有微光聚集技术,最近测距光斑扩散度小于10%
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